真空測漏儀是用于檢測產品或系統是否泄漏的一種重要工具，但有時它也可能發生故障。以下是可能導致它發生故障的幾個原因：

1. 傳感器污染：真空測漏儀的傳感器可能被物質微粒污染，導致測量結果不準確。應定期清潔傳感器，并避免長時間暴露在灰塵或污垢的環境中。

2. 傳感器損壞：傳感器的損壞也可能導致設備發生故障。應定期檢查傳感器的功能，并更換損壞的傳感器。

3. 電源故障：使用設備時需要穩定的電源供應才能正常工作。電源故障可能是由于電源線損壞、電源波動或電源中斷所引起，應定期檢查電源線的狀況，并確保電源供應穩定。

4. 電路故障：真空測漏儀的電路故障可能導致儀器無法正常工作。電路故障可能是由于電子元件損壞、電路板損壞或電路設計錯誤所引起，應定期檢查電路的狀況，并更換損壞的電子元件或電路板。

5. 軟件故障：設備的軟件故障可能導致儀器無法正常工作。軟件故障可能是由于軟件崩潰、病毒攻擊或數據損壞所引起，應定期更新軟件，并備份重要的數據。

總之，真空測漏儀發生故障可能是由于多種因素造成的，包括傳感器污染、傳感器損壞、電源故障、電路故障和軟件故障等。為了確保設備的正常工作，應定期檢查和維護儀器，并及時采取措施解決故障。

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